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激光是一种与普通光源截然不同的相干光源，由于具有高方向性、高单色性和高能量的特点，自20世纪60年代初出现以来，就备受关注。激光打标系统包括激光打标机、工作台和外部水冷系统3大部分。激光打标机由控制柜和激光打标头组成，并通过系统控制线相连；控制柜包括激光电源、RF、射频驱动器、控制计算机、显示器、主控制板和激光冷却系统。当今激光光刻系统市场，YAG激光打标机在激光标刻系统中占据着绝对统治地位，而YAG激光器都是以氪灯或氙灯来泵浦的。性能良好，工作稳定的激光冷却系统对于YAG激光器尤为重要。，大小：5.35 MB
激光是一种与普通光源截然不同的相干光源，由于具有高方向性、高单色性和高能量的特点，自20世纪60年代初出现以来，就备受关注。激光打标系统包括激光打标机、工作台和外部水冷系统3大部分。激光打标机由控制柜和激光打标头组成，并通过系统控制线相连；控制柜包括激光电源、RF、射频驱动器、控制计算机、显示器、主控制板和激光冷却系统。当今激光光刻系统市场，YAG激光打标机在激光标刻系统中占据着绝对统治地位，而YAG激光器都是以氪灯或氙灯来泵浦的。性能良好，工作稳定的激光冷却系统对于YAG激光器尤为重要。，大小：5.35 MB
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